Īpaši augsta vakuuma mehāniskais pastiprināšanas sūknis
Īpaši augsta vakuuma (UHV) mehāniskie pastiprināšanas sūkņi (Roots Booster Pumps) palielina gāzes caurlaidību zema spiediena vakuuma sistēmās, kur nepieciešama liela sūknēšanas jauda un ātrs sūkņa{1}}dīkstāves laiks.
Darbojoties kopā ar saderīgu atbalsta sūkni (piemēram, sauso vakuumsūkni vai rotācijas lāpstiņu sūkni), pastiprinātājs izmanto pozitīvu -pārvietošanas mehānisko darbību, lai pārnestu gāzi no kameras puses uz atbalsta stadiju. Tas ievērojami palielina efektīvu sūknēšanas ātrumu vidēja līdz īpaši augsta vakuuma spiediena diapazonā{2}}.
Tehniskās specifikācijas
|
Parametrs |
Specifikācija/atlases prasība |
Inženiertehniskie apsvērumi |
|
Produkta veids |
UHV mehāniskais pastiprinātāja sūknis (saknes princips) |
Pozitīvs-nobīdes augstas{1}}caurlaidības pastiprinātājs |
|
Atloku standarti |
ISO-K / ISO-F, CF Flanges vai Custom |
Izvēlēts, pamatojoties uz vadītspēju un UHV blīvējuma integritāti |
|
Sūknēšanas ātruma diapazons |
Atkarīgs no modeļa- (skatiet veiktspējas līknes) |
Jāaprēķina kopā ar sistēmas līnijas vadītspēju |
|
Darba spiediens |
No vidēja vakuuma līdz īpaši augstam vakuumam (UHV) |
To regulē kopējais sūknēšanas vilciens un kameras izplūde |
|
Atbalsta sūkņa saskaņošana |
Sausais sūknis, rotācijas lāpstiņa vai rotējošais virzulis |
Atbalsta jaudai ir jāatbilst pastiprinātāja izlādes plūsmai |
|
Maksimālais diferenciālais spiediens |
Modeļa-konkrēts pieļaujamā spiediena ierobežojums (Delta P max) |
Novērš termisku pārslodzi un mehānisku deformāciju |
|
Vakuums{0}}Sānu materiāli |
Nerūsējošais tērauds, apstrādāti sakausējumi, īpaši pārklājumi |
Zems izplūdes ātrums un ķīmiskā izturība |
|
Blīvējuma konfigurācija |
Elastomērs (FKM/FFKM) vai metāla blīves (CF) |
Izvēlēts, pamatojoties uz hēlija noplūdes ātrumu un izdegšanas ierobežojumiem |
|
Hēlija noplūdes ātrums |
Līdz 1 x 10^-10 mbar L/s |
Pārbaudīts ar masas spektrometra noplūdes detektoru |
Atlases un integrācijas rokasgrāmata
Lai izvēlētos pareizo Roots pastiprinātāja sūkni un nodrošinātu vienmērīgu integrāciju savā vakuuma sistēmā, novērtējiet šādus darbības punktus:
Sūknēšanas ātrums un mērķa spiediens:Aprēķiniet nepieciešamo efektīvo sūknēšanas ātrumu kameras ieplūdē, ņemot vērā cauruļvadu vadītspēju.
Gāzes slodzes un procesa vide:Nosakiet procesa gāzu sastāvu, korozīvās īpašības, putekļu daļiņas un materiālu izplūdes ātrumu.
Atbalsta sūkņa saderība:Pārliecinieties, ka atbalsta sūknis apstrādā izplūdes tilpumu, nepārsniedzot maksimālo pieļaujamo diferenciālo spiedienu (Delta P max).
Termiskie un sistēmas bloķētāji:Konfigurējiet spiediena slēdžus, mainīgas frekvences piedziņas (VFD) un dzesēšanas bloķētājus, lai izvairītos no mehāniskām pārslodzēm rupjās apstrādes fāzēs.
Tipiski pielietojumi
Pusvadītāji un elektronika:Evakuācijas un procesa gāzes apstrāde kodināšanas, CVD un litogrāfijas atbalsta instrumentiem, kuriem nepieciešams zems piesārņojums.
Plānas-plēves uzklāšana un pārklājums:Uztur stabilu darba spiedienu augstas -caurlaidības PVD, izsmidzināšanas un optiskā pārklājuma procesos.
Pētniecības laboratorijas:Augsta-uzticamības vakuuma veiktspēja daļiņu fizikas, virsmas zinātnes un kosmosa simulācijas kamerām.
Vakuuma krāsnis un apstrāde:Efektīvi iztur lielas gāzes slodzes augstas{0}}temperatūras degazēšanas, vakuumlodēšanas un termiskās apstrādes laikā.
Kvalitātes kontrole un dokumentācija
UHV uzticamībai ir nepieciešami stingri ražošanas un verifikācijas standarti:
Tīras telpas apstrāde:Daudzpakāpju ultraskaņas tīrīšana, šķīdinātāju attaukošana un bezputekļu-iepakojums, lai nodrošinātu zemu izplūdi.
Precizitātes pārbaude:Dinamiskā rotoru balansēšana, izmēru pārbaude un masas spektrometra hēlija noplūdes pārbaude.
Piegādājamie dokumenti:Modeļa -konkrētas sūknēšanas ātruma līknes, CAD/STEP kontūru rasējumi, motora elektriskās specifikācijas, materiālu sertifikāti un noplūdes pārbaudes ziņojumi.
FAQ
J: Kāda ir īpaši augsta vakuuma mehāniskā pastiprinātāja sūkņa galvenā funkcija?
A. Īpaši augsta vakuuma mehāniskais pastiprināšanas sūknis palielina efektīvu sūknēšanas ātrumu un gāzes caurlaidību zema spiediena vakuuma sistēmās. Tas pārnes gāzi no vakuuma kameras uz atbalsta sūkni, nodrošinot ātru evakuāciju un augstāku spiediena veiktspēju.
J: Vai Roots mehāniskais pastiprinātājsūknis var darboties neatkarīgi bez atbalsta sūkņa?
A: Nē. Mehāniskajam pastiprinātāja sūknim ir nepieciešams piemērots palīgsūknis (piemēram, sausais sūknis vai rotācijas lāpstiņas sūknis), lai izvadītu gāzi līdz atmosfēras spiedienam.
J: Kāpēc man vajadzētu izvairīties no pastiprinātāja sūkņa izvēles, pamatojoties tikai uz nominālo sūknēšanas ātrumu?
A: Nominālais sūknēšanas ātrums ir ideāls pārvietojums, neņemot vērā reālos -pasaules sistēmas zudumus. Faktiskā veiktspēja ir atkarīga no vakuuma -līnijas vadītspējas, atbalsta sūkņa jaudas, darba spiediena un kameras gāzes slodzes.
J: Kā novērst termisko pārslodzi revakcinācijas sūkņa darbības laikā?
A: Termiskā pārslodze tiek novērsta, uzturot darba spiedienu pieļaujamās diferenciālās robežās (Delta P max). Izmantojot spiediena samazināšanas vārstu, mainīgas frekvences piedziņu (VFD) vai spiediena slēdzi, lai kontrolētu pastiprinātāja palaišanu,{1}}sūknis tiek pasargāts no pārmērīgas gāzes slodzes.
J: Kādi UHV tīrības piesardzības pasākumi tiek veikti ražošanas laikā?
A: UHV pakalpojumu gadījumā vakuuma -sānu komponentiem tiek veikti specializēti tīrīšanas procesi, piemēram, ultraskaņas attaukošana, lai likvidētu ogļūdeņraža atlikumus.
Populāri tagi: īpaši augsta vakuuma mehāniskā pastiprinātāja sūknis, Ķīna īpaši augsta vakuuma mehāniskā pastiprinātāja sūkņu ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
